LiNbO₃器件加工

• 

  LiNbO₃波导

  侧壁粗糙度低

• 

  LiNbO₃波导

  侧壁角度73°

• 

  LiNbO₃光栅

  光栅周期1 μm

• 

  LiNbO3微环谐振腔

  本征Q值1*106

• 

  LiNbO3定向耦合器

• 

  LiNbO3调制器

超表面器件加工

• 

  超表面样片1

  特征尺寸140 nm

• 

  超表面样片2

  深度1.5 μm 深宽比15:1

• 

  超表面样片3

  深度1.5 μm 深宽比15:1

• 

  超表面样片4

  深度1.2 μm，深宽比10:1

• 

  超表面样片5

  深度1.1 μm，深宽比10:1

• 

  超表面样片6

  深度1.5 μm 深宽比15:1

SOI器件加工

• 

  脑机接口调制器

• 

  Y型分束器

• 

  双向辐射天线

• 

  微环谐振腔

• 

  交叉波导

• 

  波分复用器

• 

  线型光栅耦合器

• 

  聚焦型光栅耦合器

• 

  定向耦合器

其他样品加工

• 

  FIB天津大学校徽

  特征尺寸50 nm

• 

  EBL光栅

  特征尺寸8 nm

• 

  ICP-RIE光栅

  特征尺寸15 nm