103AA

30FB7

16D09

LPCVD

高品质Si3N4沉积

粗糙度:

Rq=0.178 nm

 ICP-CVD

不同折射率SiNx沉积

折射率:

2.0-2.7@1550 nm

ALD

不同浓度

Er掺杂Al2O3沉积

 掺Er浓度可调