LPCVD
高品质Si3N4沉积
粗糙度:
Rq=0.178 nm
ICP-CVD
不同折射率SiNx沉积
折射率:
2.0-2.7@1550 nm
ALD
不同浓度
Er掺杂Al2O3沉积
掺Er浓度可调
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